酸蚀与紫外激光预处理结合提高熔石英损伤阈值

• 作者: 向霞 吕海兵 李熙斌 王成程 王海军 祖小涛 蒋勇 蒋晓东 袁晓东 郑万国 陈猛
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 熔石英 化学刻蚀 激光预处理 光透过率 损伤阈值
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 1383-1387
• 分类号: O434.14
• 字数: 2666字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20102206.1383

摘要

采用HF酸刻蚀和紫外激光预处理相结合的方式提升熔石英元件的负载能力,用质量分数为1%的HF缓冲溶液对熔石英刻蚀1~100 min,综合透过率、粗糙度和损伤阈值测试结果,发现刻蚀时间为10 min的熔石英抗损伤能力最佳.采用355 nm紫外激光对HF酸刻蚀10 min的熔石英进行预处理,结果表明:紫外预处理能量密度在熔石英零损伤阈值的60%以下时,激光损伤阈值单调递增;能量到达80%时,阈值反而低于原始样片的损伤阈值.适当地控制酸蚀时间和紫外激光预处理参数能有效提高熔石英的抗损伤能力.