超声波辅助酸蚀提高熔石英损伤阈值

• 作者: 朱健强 林尊琪 赵东峰 邬融 邵平
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光光学 熔石英 超声波 损伤阈值 化学刻蚀
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 105-110
• 页数: 6页
• 分类号: O436
• 字数: 3794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.012001

摘要

为了提高熔石英元件表面抗激光损伤阈值,利用超声波辅助HF酸研究平滑光学元件表面缺陷形貌和去除刻蚀后残留物效果,通过扫描电子显微镜电镜和原子力显微镜记录表面形貌结构,以及单脉冲激光辐照测试抗损伤阈值确定实验参数.研究表明,超声波场的引入能催化HF酸的刻蚀速率、提高钝化效果并且更易剥离嵌入的亚μm级杂质粒子.经过实验测试,获得了熔石英类元件相匹配的超声辅助HF酸刻蚀实验参数,研究结果对应用超声波辅助HF酸研究熔石英表面抗激光损伤有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林尊琪	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	67	448	12.0	17.0
2	朱健强	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	147	1132	17.0	31.0
3	赵东峰	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	12	110	6.0	10.0
7	邵平	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	5	54	4.0	5.0
8	邬融	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	11	36	4.0	6.0