熔石英亚表面划痕激光诱导损伤阈值实验研究

• 作者: 吕海兵 徐世珍 李绪平 田东斌 祖小涛 蒋晓东 袁晓东 郑万国 郭袁俊
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: YAG激光 熔石英 亚表面缺陷 损伤阈值
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 1547-1550
• 页数: 4页
• 分类号: TN012
• 字数: 2160字
• 语种: 中文

摘要

用原子力显微镜和光学显微镜观测酸蚀后熔石英亚表面划痕,并根据形貌特征将其分为Boussinesq-point-force crack(BPFC)、Hertzian-conical scratch(HCS)和Plastic indent(PI)三类,测试了各类划痕的损伤阈值,讨论了激光损伤机制.结果表明锐度较大的BPFC损伤阈值不超过2.0 J/cm2;深度小于1 μm的 HCS阈值可达2.6 J/cm2;形变较大的PI阈值至2.8 J/cm2,形变较小的PI的激光损伤阈值与无缺陷材料相当.BPFC 和深度超过1 μm的HCS是导致熔石英损伤阈值低的主要因素.