双闭环真空硅微陀螺仪设计及性能测试分析

• 作者: 周百令 夏敦柱 王寿荣
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 硅微陀螺仪 自激驱动 双闭环检测 标度因素 零偏稳定性
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 241-243
• 页数: 3页
• 分类号: O318.2
• 字数: 1826字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.013

摘要

所设计的硅微陀螺仪工作在10 Pa,品质因素达到3000,采用CAN金属壳封装形式,测控线路采用闭环自激驱动,力反馈式闭环检测方式.驱动采用单边驱动单边检测,尽量使线路简化;检测采用双重分解和重构回路.测试结果表明:有用信号和正交信号实现很好的相位解耦,互不影响.在实现标度因素10 mY/(°)S-1的情况下,零偏稳定性已达到了60°/h;线性度已达到了400 ppm;带宽仿真达到150 Hz;这较以前设计的空气下闭驱开检方式下的硅微陀螺性能提高了近2个数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周百令	东南大学仪器科学与工程学院	106	1086	17.0	23.0
2	夏敦柱	东南大学仪器科学与工程学院	22	160	8.0	11.0
3	王寿荣	东南大学仪器科学与工程学院	94	1158	19.0	28.0