Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能

• 作者: 何智兵 刘兴华 吴卫东 唐永建 巨新 张洪亮 曹林洪 李俊 谢二庆
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: ICF靶 氢化非晶碳薄膜 等离子体增强化学气相沉积 Fe掺杂 热重分析
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子
• 页码范围: 621-624
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1982字
• 语种: 中文

摘要

以H2、反式-2-丁烯(T2B)和二茂铁混合气体为工作气体,用金属有机等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备了Fe掺杂氢化非晶碳(a-C:H:Fe)薄膜.使用X射线光电子能谱(XPS)对a-C:H:Fe薄膜成分进行了分析.使用台阶仪、场发射扫描电镜(FESEM)、热重分析和紫外可见分光光度计(UV-VIS),对比分析了a-C:H薄膜和a-C:H:Fe薄膜的沉积速率、表面形貌、热稳定性和光学带隙变化.研究表明:相同制备条件下,相比a-C:H薄膜,a-C:H:Fe薄膜的沉积速率高,表面颗粒小,容易碳化,光学带隙变窄.