高斯光束对标准硅球直径测量的影响分析

• 作者: 叶声华 康岩辉 罗志勇 邾继贵
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 硅球直径测量 高斯光束 多光束干涉
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 2148-2152
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2749字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2008.11.020

摘要

针对高精度硅球直径测量系统的特点,分析平面波反射光的多光束干涉和双光束干涉,以及正入射时高斯光束反射光中心的多光束干涉和双光束干涉,对不同条件下的高斯光束反射光中心的干涉光强进行了数值模拟.对采用五步相移算法时高斯多光束干涉的影响进行了研究,给出了特定参数条件下不同束腰ω0和传播距离z时的最大相位误差,当ω0=5 mm,z=2000 mm时的最大相位误差达0.08%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶声华	天津大学精密测试技术仪器国家重点实验室	292	6282	40.0	63.0
2	邾继贵	天津大学精密测试技术仪器国家重点实验室	156	2628	27.0	45.0
3	罗志勇		35	216	8.0	13.0
4	康岩辉	天津大学精密测试技术仪器国家重点实验室	3	12	3.0	3.0