标准硅球直径精密测量系统的设计

• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 标准硅球 固体密度基准 斐索干涉仪 多光束干涉
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 289-294
• 页数: 6页
• 分类号: TB933
• 字数: 4093字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2005.04.001

摘要

基于多光束干涉的基本原理,导出了使用斐索干涉仪测量硅球直径多光束干涉光强分布的精确公式.针对目前的硅球直径测量系统忽略了多次反射对干涉信号造成的影响和系统中固有的条纹清晰度低的问题,研究了多次反射对干涉信号造成的误差,结果表明其最大光强误差可达到8%.通过对光学干涉系统结构设计和元件参数选择,最大限度地优化了干涉条纹的可见度,并设计出零背景光强标准硅球直径精密测量系统.数值模拟结果表明,该系统不仅极大地提高了干涉条纹对比度、消除了背景噪声,而且可通过改变透镜焦距调节干涉条纹的强度以达到CCD的最佳工作范围,从而提高了光强信号的测量准确度.