MEMS微型可编程光栅的研究现状(上)

• 作者: 苑伟政 虞益挺
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅 微机电系统 微光机电系统 微型可编程光栅
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1109-1114
• 页数: 6页
• 分类号: TP211
• 字数: 3292字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2008.05.044

摘要

近10几年来,微机电系统--MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益.光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显著优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的.本文以MEMS微型可编程光栅为核心,介绍了它的特点及其优异性能,并重点阐述了国外已经实现商品化应用的3种MEMS微型可编程光栅的工作原理、结构特点及其典型应用.