计量学

• 来源期刊: 中国学术期刊文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 测量机器人 阿伏加德罗常数 精度评定 评定基准线 表面粗糙度 台阶高度 最小二乘
• 年，卷（期）: 2008,（22）
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: O4-09|TB9
• 语种: 中文

摘要

计量型原子力测头用于纳米台阶高度样板的测量;基于距离精度的测量机器人标定模型及算法;二维表面粗糙度最小二乘评定基准线的改进;三维测头探测误差的评定准则及高精度评定方法研究;阿伏加德罗常数测量中单晶硅密度的绝对测量