计量学

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三维矢量声强

测量方法

五帧相移算法

纳米台阶高度

大视场在线检测系统

面阵CCD

摘要：

一种新的三维矢量声强测量方法;利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征;基于面阵CCD的大视场在线检测系统研究;基于两步法线阵CCD标定技术研究;回转运动坐标定位精度的检测与误差补偿模型

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篇名	计量学
来源期刊	中国学术期刊文摘	学科	工学
关键词	三维矢量声强测量方法五帧相移算法纳米台阶高度大视场在线检测系统面阵CCD
年，卷（期）	2008,（6）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	42-44
页数	3页	分类号	TB525
字数		语种	中文
DOI