基于SILVACO-TCAD氧化仿真程序设计方法研究

• 作者: 顾江
• 来源期刊: 科技信息(学术版)
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2008,（36）
• 所属期刊栏目: 博士·专家论坛(二)
• 页码范围: 410,412
• 页数: 2页
• 分类号: TP3
• 字数: 2652字
• 语种: 中文

摘要

本文分析了SILVACO-TCAD中不同氧化模型的特点,分别对COMPRESS和VISCOUS进行了仿真程序设计,并将仿真结果与实际试验结果进行了比较,总结出了在不同的工艺生产条件下,应用这两种程序模型的规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾江	常熟理工学院物理与电子科学系	13	51	4.0	6.0