微纳尺度操作的系统设计

• 作者: 刘俊标 吴震 李勇滔 殷伯华 韩立
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳尺度操作 SEM 微纳操作臂 精密工件台
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器研制和开发
• 页码范围: 18-20,24
• 页数: 4页
• 分类号: TP242.3
• 语种: 中文

摘要

微纳尺度操作是当前先进制造技术领域的一个重要发展方向.为了实现在亚微米及纳米尺度下进行实时观测下的操纵,设计了一种基于SEM的微纳操作系统,本系统由数字式环境扫描电子显微镜系统、精密工件台、微纳操作机构和计算机系统组成,采用数字式环境扫描电子显微镜作为微纳操作的观测器,在SEM的样本室内安装微纳操作臂,计算机系统控制微纳操作臂,使其在SEM的实时观测下对放置在精密工件台上的样本进行操纵.实验结果证明本系统能够适于在各种环境下进行微纳尺度操作,具有很强的实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊标	中国科学院电工研究所	45	181	8.0	11.0
2	殷伯华	中国科学院电工研究所	24	94	6.0	8.0
3	韩立	中国科学院电工研究所	98	376	9.0	13.0
4	李勇滔	中国科学院电工研究所	14	31	3.0	4.0
8	吴震	中国科学院电工研究所	3	7	2.0	2.0