两种陶瓷薄膜的透射电镜研究

• 作者: 娄艳芝 杨会生 王燕斌 罗庆洪 陆永浩
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 显微结构 硬质薄膜 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器研制和开发
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444|O484.4
• 语种: 中文

摘要

采用高分辨透射电镜技术对两种硬质薄膜(AITiN多层薄膜和AICN非晶薄膜)样品的显微结构进行了研究.结果表明:在高速钢基体上制备的AITiN多层薄膜由两种氮含量交替变化的膜层构成,尽管交替的两层中氮含量不同,但每一单层都为纳米晶包含在非晶点阵中的纳米复合结构,不同之处是低氯含量层中纳米晶密度较小;生长在单晶硅基体(100)晶面上的非晶AICN薄膜,在膜基界面处硅基体上出现应力畸变层,应力畸变层厚度很薄,约5～5个原子层.比较Si的应变层和非应变区的傅里叶变换结果,片状的应变层产生形状效应,使得傅里叶变换图中斑点沿垂直于片状应变层方向拉长成线状.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王燕斌	北京科技大学材料物理与化学系	44	250	9.0	13.0
2	杨会生	北京科技大学材料物理与化学系	21	118	6.0	10.0
3	陆永浩	北京科技大学材料物理与化学系	45	134	6.0	9.0
4	罗庆洪	北京科技大学材料物理与化学系	7	26	3.0	4.0
5	娄艳芝		17	51	4.0	6.0