纳米测量系统气体轴承瞬态研究

• 作者: 卢明臻 崔建军 施玉书 杜华 高思田
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 纳米 气体轴承 微振动 瞬态 计量学
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 584-587
• 页数: 4页
• 分类号: TH133.35|TH711
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2009.04.013

摘要

为了消除气体轴承固有纳米级微振动,需要研究气体止推轴承上气和排气的瞬态过程.应用流体力学方程,计算得到气体轴承的外特性.设计一个适用于气膜厚度为微米量级的气体轴承实验机构,进行不同负载下气体轴承上气和排气过程的实验.实验结果较好地验证了理论分析的合理性,上气过程随着负载的增加出现初速度不为零的阶跃过程,排气过程中气膜厚度的变化随压强的变化呈现三次函数关系.为下一步控制研究提供重要的理论和实践基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	93	567	11.0	19.0
3	崔建军	中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所	33	122	6.0	8.0
4	卢明臻	中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所	16	97	6.0	8.0
7	施玉书	中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所	35	121	5.0	8.0