极高真空电离规的校准实验研究

• 作者: 成永军 李得天
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 反磁控型冷阴极极高真空电离规 热阴极极高真空电离规 校准 实验
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 199-206
• 页数: 8页
• 分类号: TB772
• 字数: 2649字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2009.04.003

摘要

介绍了2支反磁控型冷阴极极高真空电离规和1支热阴极极高真空电离规的校准实验研究结果.实验设备是一台极高真空校准装置,实验范围为10-9～10-Pa,实验气体为N2.实验结果表明,尽管2次校准结果的重复性较好,但就单次校准结果来看,每个规的灵敏度(修正因子)的最大值和最小值之间的偏差较大.因此,极高真空电离规要得到准确的测量结果,对其进行精确校准是非常必要的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天	兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室	63	622	15.0	20.0
2	成永军	兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室	39	271	9.0	13.0