同步跟随式电磁悬浮驱动器的力学分析与测试

• 作者: 姜伟光 杨涛 郭亮 陈军 陈本永
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电磁悬浮 微驱动器 多自由度 稳定性 驱动能力
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 95-101
• 页数: 7页
• 分类号: TP213.13
• 字数: 4415字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2009.02.001

摘要

设计了一种基于磁场同步跟随的多自由度电磁悬浮式微驱动器,该驱动器悬浮单元和驱动单元相互独立,在一个机构中构建了集驱动、测量和控制于一体的磁悬浮微驱动新方法.通过对该驱动器的受力分析,得到了驱动器多自由度运动状态的数学方程.采用电涡流传感器和DSP控制器,建立了该微驱动器的测控系统,实验结果表明,该驱动器具有较强的稳定性与驱动能力,验证了力学分析的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈本永	浙江理工大学纳米测量技术实验室	63	361	11.0	17.0
2	郭亮	浙江理工大学纳米测量技术实验室	23	121	5.0	10.0
3	杨涛	浙江理工大学纳米测量技术实验室	18	37	3.0	5.0
4	陈军	浙江理工大学纳米测量技术实验室	9	16	3.0	3.0
5	姜伟光	浙江理工大学纳米测量技术实验室	5	11	3.0	3.0