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纳米技术及其应用
纳米技术
纳米材料
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纳米技术的现状与展望
纳米技术
纳米材料
应用
纳米技术的风险问题及对策研究
纳米技术
科技重大风险,风险
自我纠错机制
致毁知识
纳米技术与找矿(一)
纳米
找矿
纳米特性
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 32纳米技术代工艺挑战及对硅刻蚀设备的要求
来源期刊 电子元器件资讯 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2009,(3) 所属期刊栏目 晶圆加工设备
研究方向 页码范围 26-28
页数 3页 分类号 TN3
字数 4952字 语种 中文
DOI
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