两种非球面面形的光学测量方法研究

• 作者: 唐昆 尹韶辉 朱勇建 盛晓敏
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 非球面测量 条纹投影 剪切干涉 相位重建
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 271-275
• 页数: 5页
• 分类号: TH911.74
• 语种: 中文

摘要

采用结合四步相移的条纹投影法,实现了物体三维轮廓的测量.把计算机产生的干涉条纹作为投影源,在实验中采集4幅相移条纹图,利用所提出的相位重建算法--基于离散余弦变换的快速相位重建算法,得到了物体的三维尺寸.设计了新的径向剪切式同步相移干涉仪,该干涉仪采用2块雅敏平板,利用偏振光干涉原理实现了4幅条纹图的同步采集,可对不同口径的非球面面形进行测量,并能避开振动的影响,抗干扰能力强,其理论精度可达到波长的1/100.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	盛晓敏		49	811	16.0	27.0
2	尹韶辉		66	540	12.0	20.0
3	朱勇建		13	167	6.0	12.0
4	唐昆		8	36	3.0	6.0