腐蚀防护中两种镀层厚度测量方法的优劣探讨

• 作者: 古关华
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 归一化计数率 x射线荧光 样品制备
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 可靠性物理与失效分析
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2001.05.007

摘要

介绍了工厂常用的x射线荧光法测量镀层厚度的基本原理,以及用新型扫描电镜对金属镀层进行厚度测量的方法及其主要注意事项;并就两种方法的优劣进行了比较分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	古关华		3	28	2.0	3.0