基于光学树脂基片的码盘、光栅盘制作技术研究

• 作者: 王晓峰 赵波 陈赟
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 光学树脂 基片 码盘 光栅盘 光学特性
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 189-192
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3263字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2009.02.004

摘要

码盘、光栅盘是光电位移精密测量仪器和光栅计量测试设备中的核心元件.目前,码盘、光栅的基片主要是K9玻璃、浮法玻璃、不锈钢及菲林胶片,但它们无法适应振动强、冲击大等恶劣环境的要求.为了解决上述矛盾,采用新型的材料-光学树脂作为基片进行码盘、光栅盘的制作,通过分析部分光学树脂特别是聚甲基丙烯酸甲酯(简称PMMA)、聚碳酸酯(简称PC)、聚苯乙烯(简称PS)的光学特性,在研究现有光刻复制工艺的基础上,采用新型的制作技术制作出PC树脂基片的光栅盘,在45倍显微镜下观察,线条陡直、无龟裂,试验结果表明该工艺可行,工艺参数正确,为进一步研制以树脂码盘、光栅盘为核心元件的测量仪器和光栅计量设备提供了试验基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	24	123	7.0	10.0
2	王晓峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	57	953	14.0	30.0
3	陈赟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	585	12.0	23.0