Si3N4陶瓷轴承NCD涂层制备中的温度场模拟

• 作者: 任卫涛 卢文壮 左敦稳 徐锋 杨春
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷轴承 热丝法 纳米金刚石涂层 温度场 有限元分析
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 机械制造研究
• 页码范围: 16-18,36
• 页数: 4页
• 分类号: TH133.3
• 字数: 3080字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5276.2009.03.006

摘要

纳米金刚石(NCD)薄膜涂层由于优异的力学和摩擦学性能,是一种理想的轴承涂层材料.在用HFCVD方法制备NCD涂层的过程中,衬底温度是重要参数之一.首先设计了一种适合轴承内外圈NCD涂层制备的热丝夹持装置,其次分析了HFCVD系统的热交换过程,并建立了相应的衬底温度场的三维有限元模型.在此模型基础上具体讨论了热丝数目、温度、热丝到衬底距离等因素对衬底温度大小及均匀性的影响.结果表明,由于衬底相对尺寸较小并且考虑了衬底内部的热传导,各参数的变化对衬底温度大小有明显影响,但对衬底温度均匀性影响不大.结果为轴承NCD涂层的制备提供了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨春	南京航空航天大学机电学院	11	116	6.0	10.0
5	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
9	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
10	徐锋	南京航空航天大学机电学院	85	541	13.0	18.0
11	任卫涛	南京航空航天大学机电学院	5	34	3.0	5.0