计算机控制光学表面成形中的频域分析

• 作者: 周林 戴一帆 李圣怡 解旭辉
• 来源期刊: 中国科学E辑
• 关键词: 计算机控制光学 表面成形 光学零件加工 去除函数 材料去除有效率 离子束抛光
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 402-408
• 页数: 7页
• 语种: 中文

摘要

计算机控制光学表面成形(CCOS)工艺容易在光学零件表面产生中高频误差,从而影响光学系统的性能.为了对中高频误差进行有效控制,以卷积积分模型为基础,主要考虑加工过程的材料去除有效性,提出了修形能力值、材料去除有效率等概念,定量分析了CCOS工艺过程对不同频率成份误差的修正能力.分析得出CCOS工艺过程的材料去除有效率取决于工艺过程的去除函数,正好等于去除函数傅里叶变换的归一化幅值谱.最后,利用离子束成形工艺进行了3个正弦函数面形的刻蚀试验,对理论进行了验证.本文所采用的方法和得出的结论为分析和优化CCOS工艺提供了强有力的数学支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆		64	1121	16.0	32.0
2	李圣怡		77	1079	17.0	30.0
3	解旭辉		21	255	8.0	15.0
4	周林		13	72	6.0	8.0