基于MEMS技术集成硅微棱镜耦合和微流道的近红外表面等离子体谐振芯片

• 作者: 季旭 李志宏 王玮 耿照新
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 表面等离子体谐振(SPR) 微流体 近红外光 硅棱镜
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 132-136
• 页数: 5页
• 分类号: TN603.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2009.02.009

摘要

为促进表面等离子体谐振(surface plasmon resonance,SPR)测试技术在片上的实现,提出硅基近红外SPR芯片,由硅微棱镜、金属膜和聚合物微流体通道组成.利用有掩膜和无掩膜各向异性湿法腐蚀加工出底角为25.24°的单微硅棱镜阵列,用有掩膜各向异性湿法腐蚀加工出底角为54.74°的双微硅棱镜阵列,利用聚合物的复制注塑技术加工得到微流体通道.在波长1 550nm时进行仿真与实验测试,实验测得以空气、水和乙醇为测试介质的SPR角分别为16.75°、22.58°和22.72°,这些值比以玻璃棱镜加工SPR传感器测得的SPR角要小很多.通过实验表明,近红外SPR芯片可以实现表面等离子体谐振传感器微型化,进而推动微全分析系统的实现,降低其成本并提高其性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玮	北京大学微电子学研究院	61	390	12.0	17.0
2	李志宏	北京大学微电子学研究院	11	82	5.0	9.0
3	耿照新	北京大学微电子学研究院	5	4	1.0	2.0
7	季旭	北京大学微电子学研究院	2	0	0.0	0.0