光针式表面测量系统的研究

• 作者: 叶仲新 陈育荣
• 来源期刊: 湖北汽车工业学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 表面测量 光针法 聚焦伺服 压电陶瓷
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 3711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-5483.2009.04.010

摘要

提出了基于垂直扫描伺服工作台的光针式表面测量方法.阐述了光学探针法的工作原理,光针式表面测量系统中垂直扫描伺服工作台的结构特征工作原理、信号采集与处理过程,以及该系统的相关技术指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈育荣	湖北汽车工业学院机械工程系	32	113	5.0	9.0
2	叶仲新	湖北汽车工业学院机械工程系	10	21	3.0	4.0