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摘要:
着重介绍了用于水质检测的电化学、声学、光学三种类型微传感器以及微分析系统、微传感片上系统两类微系统的基本原理、特点和研究进展;比较了不同类型微传感器的性能差异;讨论了目前水质检测微传感器及微系统在研究中存在的主要问题及解决方法,并对其未来的发展前景进行了展望.
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文献信息
篇名 用于水质检测的微传感器及微系统
来源期刊 微纳电子技术 学科 工学
关键词 水质检测 微传感器 微分析系统 片上实验室 片上系统
年,卷(期) 2009,(6) 所属期刊栏目 MEMS器件与技术
研究方向 页码范围 350-357
页数 8页 分类号 TP212.2|TP212.3
字数 8190字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.06.006
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作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 夏善红 11 53 4.0 7.0
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