光纤连接器端面的显微干涉测试系统

• 作者: 李路 王鸣
• 来源期刊: 南京师范大学学报(工程技术版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 光纤连接器 显微干涉 Mirau物镜 相移干涉 相位提取
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 光电工程
• 页码范围: 84-87
• 页数: 4页
• 分类号: O348.1
• 字数: 2468字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1292.2009.01.018

摘要

介绍了一种基于显微干涉的光纤连接器端面的测试系统,干涉仪由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成,CCD相机采集干涉图样,经处理后得到相位分布图.采用Carre相位提取算法,无需进行特定步长的相移.对光纤连接器端面的表面形貌、曲率半径、顶点偏移进行测量,测量系统的横向分辨率可达到0.9μm,重复性测量精度为9.5 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王鸣	南京师范大学物理科学与技术学院	91	636	14.0	20.0
2	李路	南京师范大学物理科学与技术学院	5	19	2.0	4.0