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摘要:
总结了极高真空(XHV低于10-9Pa的压力范围)获得和测量方法以及获得和测量极高真空的限制因素,描述了降低XHV系统器壁和元件(包括真空规或残余气体分析器)出气率采用的技术.
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压铸件
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 极高真空技术的发展
来源期刊 宇航计测技术 学科 工学
关键词 极高真空 真空泵 ~+电离规 ~+出气率
年,卷(期) 2009,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 71-76
页数 6页 分类号 TB935
字数 6304字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-7202.2009.05.018
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李得天 63 622 15.0 20.0
2 成永军 39 271 9.0 13.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
极高真空
真空泵
~+电离规
~+出气率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
宇航计测技术
双月刊
1000-7202
11-2052/V
大16开
北京142信箱408分箱
18-123
1981
chi
出版文献量(篇)
2113
总下载数(次)
3
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