一种新型的用于球面相差补偿的可变形全反镜

• 作者: Sunao Aoki 李佩
• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 加工方法 激励器 反馈系统 椭圆型 椭圆形状 几何形状 星点 形状误差 加工技术 实测曲线
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 39-40
• 页数: 2页
• 分类号: TQ597

摘要

通过运用常规的MEMS加工方法,我们成功的制得了一种基于简单结构的高精确的又容易控制的可变形全反镜。