混成式热释电非制冷红外焦平面探测器技术

• 作者: 刘黎明 杨培志 杨瑞宇 莫镜辉
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 红外探测器 热释电 非制冷焦平面探测器 混成式技术 单片式技术
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 85-88
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 4402字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2009.03.023

摘要

介绍了混成式热释电焦平面探测器的基本结构和主要制备工艺流程以及国内外研究现状.混成式热释电焦平面探测器的关键制备技术主要包括热释电材料的优选与减薄技术,铟柱倒装焊混成技术、热隔离技术和读出集成电路技术等.指出了混成式热释电焦平面探测器的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨培志		21	189	8.0	13.0
2	刘黎明		24	160	7.0	12.0
3	杨瑞宇		4	29	3.0	4.0
4	莫镜辉		7	61	4.0	7.0