320×240混合式非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究

• 作者: 任华 许娅明
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 混合式 热释电 非制冷红外焦平面 工艺流程
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 1587字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2010.01.001

摘要

热释电非制冷红外探测器具有成本低廉、无需制冷等优异特点,在红外探测和红外成像领域占有极其重要的地位.从热释电非制冷焦平面探测器的晶片制备、红外吸收结构设计、倒装互连等关键工艺的研究进行了阐述,其研究试验最终实现了320×240的成像演示.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任华		3	12	2.0	3.0
2	许娅明		1	7	1.0	1.0