ICP-AES法测定三氯氢硅中七种杂质

• 作者: 褚连青 魏利洁
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: ICP-AES 三氯氢硅 杂质
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 54-55
• 页数: 2页
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2009.05.014

摘要

本文建立三氟氢硅中钙、镁、铜、铁、铝、硼和磷的电感耦合等离子体发射光谱(ICP-AES)测定方法.方法的检出限为0.00～0.018μg/mL,回收率为92%～109%,相对标准偏差(RSD)为1.28%～4.65%.该方法很实用,结果令人满意.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚连青	中国电子科技集团公司第四十六研究所	7	12	3.0	3.0
2	魏利洁	中国电子科技集团公司第四十六研究所	2	4	1.0	2.0