基于高精度测微仪的晶圆预对准方法

• 作者: 孙立宁 张世忠 曲东升 荣伟彬
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆预对准 Levenberg-Marquardt算法 最小二乘圆拟合
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 249-253
• 页数: 5页
• 分类号: TP242.2
• 字数: 3091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2009.03.012

摘要

现有的基于高精度测微仪的预对准方法需交换晶圆才能够完成操作.为提高其效率,介绍了一种无需晶圆交换的预对准方法.该方法采用缺口定向先于圆心定位的预对准顺序,通过一维旋转和二维直线平移完成晶圆的定位.另外,还给出了该方法重复定位晶圆圆心和缺口的误差表达式.针对线性最小二乘圆拟合算法进行晶圆缺口拟合时计算精度不易保证的问题,提出了一种非线性晶圆缺口拟合算法,即利用Levenberg-Marquardt算法直接求解缺口边缘拟合问题.精度测试结果表明,该算法的计算误差近似为现有缺口拟合算法误差的1/2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	荣伟彬	哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室	98	1491	23.0	33.0
2	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室	379	7003	43.0	61.0
3	曲东升	哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室	47	1041	20.0	31.0
4	张世忠	哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室	4	40	4.0	4.0