篇名 | SiN Films Deposited by RF Magnetron Sputtering | ||
来源期刊 | 近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报:英文版 | 学科 | 物理学 |
关键词 | 氮化硅薄膜 射频磁控溅射 多晶硅太阳能电池 少数载流子寿命 光生载流子 转换效率 未成年人 缺陷 | ||
年,卷(期) | jdwlyjshlzzlzjsqsysnbywb_2009,(1) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 92-93 | |
页数 | 2页 | 分类号 | O484.1 |
字数 | 语种 | 中文 | |
DOI |