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摘要:
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关于某洁净室项目洁净度不达标的分析
净化
高效过滤器
粒子浓度
洁净室的消毒
洁净室
消毒
选择方法
药厂洁净室污染控制措施探讨
药厂
洁净室
污染物
悬浮微粒
某洁净室的检测与节能分析
洁净室
温度场
运行管理
节能
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 关于洁净室电缆集尘问题的研究
来源期刊 半导体行业 学科 工学
关键词 圆形电缆 洁净室 集尘 自动化生产线 分隔片 套管 运动
年,卷(期) 2009,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 50-51
页数 2页 分类号 TM303.4
字数 语种 中文
DOI
五维指标
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2009(0)
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研究主题发展历程
节点文献
圆形电缆
洁净室
集尘
自动化生产线
分隔片
套管
运动
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体行业
双月刊
无锡市梁溪路14号
出版文献量(篇)
1222
总下载数(次)
6
总被引数(次)
0
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