新型三氯氧磷集中安全供应系统

• 作者: 俞东雷 冯明 李东升 钱海龙 龚小雷
• 来源期刊: 太阳能
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氧磷 供应系统
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 技术与产品
• 页码范围: 34-35
• 页数: 2页
• 分类号: TK51
• 字数: 2096字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0417.2009.01.011

摘要

介绍了一种新型的三氯氧磷集中供应装置.该装置通过对不锈钢表面化学气相沉积处理,实现了防腐功能.同时采用全自动集中供应方式,确保了硅太阳电池扩散炉生产中的安全和纯度控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李东升		9	23	4.0	4.0
2	龚小雷		4	9	2.0	3.0
3	俞东雷		1	2	1.0	1.0
4	冯明		1	2	1.0	1.0
5	钱海龙		1	2	1.0	1.0