基于阿基米德螺旋线的低g值微惯性开关

• 作者: 吴嘉丽 王超 赵龙 陈光焱
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 惯性开关 低g值开关 阿基米德螺旋线 微机电系统
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1257-1261
• 页数: 5页
• 分类号: TM56
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.010

摘要

低g值惯性开关是一种对线加速度敏感并在施加的加速度作用下完成闭合的惯性装置.由于微小尺寸的限制,低g值(1-30g)惯性开关只能设计为微质量块和低刚度支撑梁的结构.为了获得低刚度,设计了基于阿基米德螺旋线的平面螺旋梁结构.微开关由一个带触点的基座、一个惯性敏感单元以及框架和封盖组成.惯性敏感单元则由一个居中的质量块和支撑它的螺旋梁组成.在加速度作用下可动的质量块发生位移,与其下的触点接触,实现开关的闭合.惯性敏感单元采用有限元软件ANSYS进行分析,采用UV-LIGA工艺制作.进行了离心试验以获得低g值惯性开关的闭合门限.经3次测试,闭合门限值分别为21.22,21.39和21.20g,平均值为21.27g.测试结果表明,低g值惯性开关具有0.5g的闭合精度,多次测试重复性较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵龙	中国工程物理研究院电子工程研究所	18	97	6.0	9.0
2	吴嘉丽	中国工程物理研究院电子工程研究所	17	110	6.0	10.0
3	王超	中国工程物理研究院电子工程研究所	35	184	7.0	12.0
4	陈光焱	中国工程物理研究院电子工程研究所	23	219	10.0	13.0