超声波精密直线位移机构的设计

• 作者: 白东哲 郭创然
• 来源期刊: 精密制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 直线型超声波电动机 超精密 单边双足振子
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与开发
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: TG5
• 字数: 3030字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-962X.2009.01.010

摘要

阐述了由纵弯振子驱动的超精密直线位移实验平台,在实验平台上安装了微动机构,其位移通过高精密的传感器进行检测.通过纵弯振子直线型超声波电动机的驱动原理及结构特点,分析了预压力和激振频率对其性能的影响.提出了通过控制微型滑块的运动实现更高精度定位的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白东哲	沈阳大学机械工程学院	8	20	2.0	4.0
2	郭创然	沈阳大学机械工程学院	1	1	1.0	1.0