电子散斑干涉载频调制形貌测量方法的分析

• 作者: 刘瑞金 吕安延 孙平 宋鹏 马志芳
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 电子散斑干涉 形貌测量 载波 傅里叶变换
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 光学计量与测试
• 页码范围: 472-476
• 页数: 5页
• 分类号: O438|TN206
• 字数: 2172字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2009.03.024

摘要

根据电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的基本原理,物体表面的微小偏转可引入包含物体高度信息的载波干涉条纹.将物体的偏转视为变形,对物体变形与载波干涉条纹之间的关系进行了讨论,得出了离面位移引入载波和面内位移引入含有物体高度信息相位的结论.发现利用典型电子散斑干涉系统测量物体形貌效果最好,并通过实验得到了验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕安延	山东师范大学物理与电子科学学院	3	17	2.0	3.0
2	宋鹏	山东师范大学物理与电子科学学院	4	33	3.0	4.0
3	孙平	山东师范大学物理与电子科学学院	55	367	14.0	17.0
4	刘瑞金	山东理工大学数理系	26	120	5.0	10.0
5	马志芳	山东师范大学物理与电子科学学院	2	23	2.0	2.0