纳米CeO_2颗粒的制备及其对硅晶片(100)和(111)的抛光性能

• 作者: 陈志刚 陈杨 陈爱莲
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铈 微波辐射 醇/水混合溶液 硅晶片 抛光
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 543-547
• 页数: 5页
• 分类号: TG356.28
• 字数: 3633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2009.06.013

摘要

以硝酸铈和六亚甲基四胺为原料,在微波辐射条件下,使用乙醇/水反应体系,通过均相沉淀法制备了纳米CeO_2颗粒,利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、傅里叶转换红外光谱仪(FT-IR)和比表面积测定仪(BET-N_2)等手段对样品的成分、物相结构、形貌、颗粒大小以及团聚情况进行了表征.将所制备的纳米CeO_2颗粒作为磨料用于硅晶片(100)和(111)的化学机械抛光,用原子力显微镜(AFM)观察抛光表面的微观形貌,测量表面粗糙度,并对抛光表面划痕进行了分析.结果表明,微波辐射以及乙醇/水反应体系均有利于制备出粒径更小、分散性更好的纳米CeO_2颗粒,而且微波辐射能够显著加快反应速度;经纳米CeO_2磨料抛光的硅晶片(100)和(111)表面非常平整,在2 μm×2 μm范围内的粗糙度Ra值分别为0.275 nm和0.110 nm,获得了具有亚纳米量级粗糙度的抛光表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈志刚	江苏工业学院材料科学与工程学院	90	1299	21.0	30.0
2	陈爱莲	江苏工业学院材料科学与工程学院	15	138	7.0	11.0
3	陈杨	江苏工业学院材料科学与工程学院	32	404	13.0	18.0