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摘要:
针对自蔓延制备氮化硅过程迅速,但可控性差的问题,研究了氮化硅晶粒在自蔓延中的生长过程及一些特殊形状晶粒形成的原因.通过设计累积试验、借助扫描电镜观察粉体形貌、讨论分析氮化硅α相和β相形成机理说明,颗粒有限长大是生长和分解达到平衡后实现的,波浪形和凹面状颗粒是晶粒在类似液相烧结和固相烧结共同作用下产生的,"树杈"状颗粒是β相氮化硅在氮化硅"籽晶"上生长和液相烧结作用下形成的.研究表明,要减小自蔓延制备氮化硅粉体的粒度、阻碍颗粒异常长大,需要合理控制稀释剂比例,降低反应温度.
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文献信息
篇名 自蔓延制备氮化硅粉体的生长机理
来源期刊 沈阳工业大学学报 学科 工学
关键词 氮化硅 自蔓延 稀释剂 形成机理 长大方式
年,卷(期) 2009,(2) 所属期刊栏目 材料科学与工程
研究方向 页码范围 186-190
页数 5页 分类号 TB174.1
字数 4463字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-1646.2009.02.015
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 乔瑞庆 沈阳工业大学材料科学与工程学院 12 55 3.0 7.0
2 汪方文 沈阳工业大学材料科学与工程学院 1 3 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
氮化硅
自蔓延
稀释剂
形成机理
长大方式
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
沈阳工业大学学报
双月刊
1000-1646
21-1189/T
大16开
沈阳市铁西区南十三路1号
8-165
1964
chi
出版文献量(篇)
2983
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5
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22269
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