多元气体配气仪设计及精度分析

• 作者: 曾周末 靳世久 黄一祥 黄四萍
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 多元气体 质量流量控制器 不确定度 模糊控制算法
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 仪器研制和开发
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TH86
• 语种: 中文

摘要

提出了一种基于高精度质量流量控制器的动态配气方案,并给出了系统操作时序流程图.着重阐述配制标准气体原理、配气过程中的不确定度及其改善措施.针对气体流量控制的时变非线性、难以建立数学模型的特点,采用模糊控制算法对气体流量进行控制,提高了配气精度.该系统可连续配制、并供给浓度值连续可调的多元混合标准气体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳世久	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	211	3002	28.0	42.0
2	曾周末	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	132	1019	18.0	24.0
3	黄一祥	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	1	12	1.0	1.0
4	黄四萍		1	12	1.0	1.0