氮气流量对反应等离子喷涂TiN涂层形貌和显微硬度的影响

• 作者: 杨晖 陈海龙
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 反应等离子喷涂 氮化钛涂层 氮气流量 显微硬度
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: TP333.32

摘要

本文采用反应等离子喷涂技术在只改变氮气流量，固定其它工艺参数的备件下，制备了TiN涂层，并收集了少量TiN颗粒。通过SEM技术对涂层和TiN颗粒表面形貌进行了分析和研究，测试了TiN涂层的显微硬度。结果表明：氮气流量对氮化钛涂层的性能影响很大。当氮气流量为17501／h时，所得的氮化钛涂层致密，显微硬度最高且压痕形状规则。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨晖		3	45	2.0	3.0
2	陈海龙		1	0	0.0	0.0