氮气流量对磁控溅射ZrN纳米涂层结构及硬度的影响

• 作者: 孙鹏 朱芳萍 王周成 祁正兵 黄若轩
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 氮化锆 纳米涂层 磁控溅射 取向性 硬度
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 137-140
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

利用磁控溅射方法,通过改变氮气流量制备出ZrN纳米涂层,研究了氮气流量对ZrN纳米涂层结构及硬度的影响,并采用表面轮廓仪、X射线衍射仪、扫描电镜及纳米压痕表征了ZrN纳米涂层的厚度、相结构、形貌及硬度.实验结果表明,随着氮气流量增加,涂层厚度减小,涂层择优取向由(111)变为(200),对应的截面形貌由柱状结构变为非柱状结构;传统的位错滑移机制不适用于ZrN纳米涂层的塑性变形,其硬度随择优取向和晶粒尺寸的增大而增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王周成	厦门大学化学化工学院	27	381	11.0	18.0
2	孙鹏	厦门大学化学化工学院	15	34	4.0	5.0
3	黄若轩	厦门大学材料学院	3	24	3.0	3.0
4	朱芳萍	厦门大学化学化工学院	3	24	3.0	3.0
5	祁正兵	厦门大学化学化工学院	3	24	3.0	3.0