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离子源辅助中频磁控溅射法在活塞环表面沉积CrN涂层
离子源辅助中频磁控溅射法在活塞环表面沉积CrN涂层
作者:
付德君
刘传胜
林宝珠
王泽松
王玲玲
田灿鑫
闫少健
原文服务方:
粉末冶金材料科学与工程
中频磁控溅射
CrN
离子源
显微硬度
摩擦因数
摘要:
用热丝弧光放电离子源辅助的中频磁控溅射装置在单晶硅和渗氮钢质活塞环上沉积CrN涂层,并用X射线衍射、原子力显微镜和电子显微镜测量涂层的微结构,用显微硬度计和球盘式摩擦磨损仪测量涂层的硬度和摩擦性能.与常规的中频磁控溅射法相比,采用离子源辅助磁控溅射法制备CrN涂层的沉积速率提高30%以上,达到4.0μm/h.在靶基距为90 mm,氮气分压比为0.14的优化条件下,沉积在活塞环上的CrN涂层结构为CrN(2001取向,涂层厚度达到25 μm,硬度高达17.85 GPa,平均摩擦因数为0.48.
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文献信息
篇名
离子源辅助中频磁控溅射法在活塞环表面沉积CrN涂层
来源期刊
粉末冶金材料科学与工程
学科
关键词
中频磁控溅射
CrN
离子源
显微硬度
摩擦因数
年,卷(期)
2010,(6)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
549-553
页数
分类号
TG174.44
字数
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1673-0224.2010.06.002
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘传胜
武汉大学加速器实验室
18
203
8.0
14.0
2
王玲玲
武汉大学加速器实验室
15
104
6.0
10.0
3
付德君
武汉大学加速器实验室
28
94
6.0
8.0
4
田灿鑫
武汉大学加速器实验室
7
37
4.0
6.0
5
王泽松
武汉大学加速器实验室
6
19
3.0
4.0
6
闫少健
武汉大学加速器实验室
5
25
3.0
5.0
7
林宝珠
武汉大学加速器实验室
1
6
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
版权信息
全文
全文.pdf
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
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参考文献
(10)
节点文献
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同被引文献
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参考文献(2)
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参考文献(1)
二级参考文献(0)
2010(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2010(1)
参考文献(1)
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引证文献(0)
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引证文献(3)
二级引证文献(0)
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引证文献(0)
二级引证文献(1)
2015(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
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引证文献(1)
二级引证文献(2)
2017(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2018(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2019(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
中频磁控溅射
CrN
离子源
显微硬度
摩擦因数
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
粉末冶金材料科学与工程
主办单位:
中南大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1673-0224
CN:
43-1448/TF
开本:
大16开
出版地:
邮发代号:
创刊时间:
1996-01-01
语种:
chi
出版文献量(篇)
1992
总下载数(次)
0
总被引数(次)
12768
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粉末冶金材料科学与工程2010年第4期
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