氮气流量对ZrN/Zr薄膜色度特性的影响

• 作者: 周志男 孙维连 孙铂 安广 李新领 王会强
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氮气流量 ZrN/Zr薄膜 色度 沉积速率 中频孪生靶
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 13-15,41
• 分类号: TG174.444|O484.4
• 语种: 中文

摘要

采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄膜的沉积速率和色度的影响.结果表明:随着氮气流量的增加,薄膜的沉积速率先降低,后升高,氮气流量在2.5×10-10～3.5×10-10 m3/s范围内时对薄膜的沉积速率影响很小;随着氮气流量的变化,薄膜的颜色呈现规律性的变化,在氮气流量2.5×10-10～3.5×10-10 m3/s范围内,可以制备出色彩亮丽的仿金薄膜ZrN,且膜层致密.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙维连	河北农业大学机电工程学院	96	375	10.0	12.0
3	王会强	河北农业大学机电工程学院	60	154	6.0	8.0
5	李新领	河北农业大学机电工程学院	23	98	7.0	8.0
7	孙铂	河北农业大学机电工程学院	37	112	6.0	8.0
10	安广	河北农业大学机电工程学院	2	10	2.0	2.0
15	周志男	河北农业大学现代教育技术中心	2	32	2.0	2.0