氧气流量对TiOx薄膜结构和光学特性的影响

• 作者: 周继承 李莉 荣林艳 赵保星
• 来源期刊: 中南大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: TiOx薄膜 直流反应磁控溅射 氧气流量
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 138-143
• 分类号: O484
• 字数: 4402字
• 语种: 中文

摘要

用直流反应磁控溅射法在未加热的玻璃基片上制备出晶态TiOx(x＜2)薄膜,研究关键工艺因素即氧气流量对薄膜的沉积速率、表面形貌、显微结构和光学特性的影响.研究结果表明:随着氧气流量增加,薄膜的沉积速率从38.54 nm/min下降到3.28 nm/min,溅射模式也从转变模式过渡到氧化模式,薄膜表面均方根粗糙度逐渐减小,表面更趋平整;当氧气流量≤5 mL/min时,得到不透明的晶态TiOx(x＜2)薄膜;当氧气流量＞5 mL/min时,所沉积的TiOx薄膜呈透明非晶态,薄膜平均透射率高于80%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周继承	中南大学物理科学与技术学院	96	780	15.0	21.0
2	李莉	中南大学物理科学与技术学院	42	252	10.0	13.0
3	赵保星	中南大学物理科学与技术学院	7	54	5.0	7.0
4	荣林艳	中南大学物理科学与技术学院	2	19	2.0	2.0