磁控溅射功率对NiAl涂层成分及显微组织的影响

• 作者: 贺殿民
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: 铝镍合金 溅射 纳米晶体 硬度 强化机制
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 335-340
• 页数: 6页
• 分类号: TF125.212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-0224.2018.03.015

摘要

为了研究溅射功率对涂层化学成分及微观组织演变的影响,通过磁控共溅射法在 Si 晶片上制备 Ni-Al合金镀层.采用XRD、SEM及TEM等测试手段对涂层的物相组成及显微组织进行分析.结果表明:在高溅射功率下,可观察到亚稳态(Ni,Al)基体和Ni3A l析出物的显著结晶特征微观结构,在较低溅射功率下,沉积的涂层表现出固溶体多晶结构,(Ni,Al)基体和 Ni3Al 沉淀的涂层表现出比单一(Ni,Al)相更高的硬度.在溅射过程中,随着高能量的输入,NiAl涂层逐渐形成了(Ni,Al)纳米晶和Ni3Al相.随Al溅射功率增大,Ni-Al涂层中Al的浓度增加,晶粒尺寸减小.磁控共溅射Ni-Al涂层的硬度变化可归因于晶粒尺寸和微观结构的演变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺殿民	内蒙古建筑职业技术学院机电与暖通工程学院	5	0	0.0	0.0