利用TeCl4非水解溶-凝胶法制备TeO2薄膜

• 作者: 冯昭彬 李东卫 林健 魏恒勇
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化碲 薄膜 溶胶-凝胶法 非水解
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文,中文
• 页码范围: 1689-1693
• 页数: 5页
• 分类号: TQ171.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2009.10.019

摘要

利用四氯化碲与乙醇反应生成前驱体氯代乙醇碲,采用非水解溶胶-凝胶法制备了TeO2凝胶薄膜,通过热处理获得非晶态TeO2薄膜.利用差热分析、X射线衍射和Fourier变换红外光谱等测试手段研究了非水解TeO2的溶胶-凝胶机制、物相变化、以及薄膜制备过程中的析晶现象.结果表明:四氯化碲可与乙醇发生部分亲核取代反应,在非水解溶胶-凝胶体系中生成了含桥氧、桥氯的Te-O-Te和Te-Cl-Te网络结构,凝胶薄膜在热处理过程中有机物碳化和Te-Cl结构的不稳定性易导致Te4+被还原,而对凝胶薄膜煅烧前在200℃进行预烧处理可抑制金属碲的析出,进而获得厚度约150nm、折射率为1.86的TeO2非晶薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林健	同济大学材料科学与工程学院	84	582	13.0	20.0
5	魏恒勇	同济大学材料科学与工程学院	12	42	4.0	6.0
6	李东卫	同济大学材料科学与工程学院	9	10	2.0	3.0
7	冯昭彬	同济大学材料科学与工程学院	6	21	2.0	4.0