扫描电镜微米级长度测量实验中不确定度的评定方法

• 作者: 常胜利 张学骛 张海良 贾红辉
• 来源期刊: 大学物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 微米级测量 不确定度 扫描电子显微镜
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 误差与数据处理
• 页码范围: 79-81
• 页数: 3页
• 分类号: O433
• 字数: 979字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2934.2009.01.018

摘要

讨论了近代物理实验中用扫描电子显微镜(SEM)进行微米级测量长度的不确定度评定方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	常胜利		41	302	9.0	15.0
2	贾红辉		23	255	8.0	15.0
3	张海良		8	61	3.0	7.0
4	张学骛		1	3	1.0	1.0