微惯性开关设计技术综述

• 作者: 王超 陈光焱
• 来源期刊: 信息与电子工程
• 学科: 工学
• 关键词: 惯性开关 接触力 惯性 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 微光机电与物理电子技术
• 页码范围: 439-442
• 页数: 4页
• 分类号: TM585.2
• 字数: 3469字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-2892.2009.05.015

摘要

微惯性开关作为微惯性传感器中的一类特殊器件在设计方面因应用背景的差异存在多种技术方案.通过描述惯性开关的工作原理和分类,介绍了国内外微惯性开关的研究概况,针对线性低g值微惯性开关闭合接触力小,触点接触弹跳,硅基导电性较差等共性问题进行了分析和讨论,提出了引入静电力或磁力以增大接触力,采用柔性接触结构以实现平稳接触,采用硅金属化工艺以实现良好的导电性等解决办法,可供微惯性开关结构设计时参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王超	中国工程物理研究院电子工程研究所	35	184	7.0	12.0
2	陈光焱	中国工程物理研究院电子工程研究所	23	219	10.0	13.0